郑老笑了起来,示意上桌的黄鱼面,“那这不是大米饭,起码得是个蛋炒饭。”
桌上又是笑声一片。
看看这面汤雪白,面条里头又是黄鱼又是雪菜,不可谓不丰盛。
王潇笑着帮忙调整送上桌的小菜的位置,一碟子烤麸,一碟子凉拌黄瓜,一碟子盐水蚕豆,都是送的。
她接过话头,“那也不行,蛋炒饭我也得吃菜。”
面条一份份上桌,包厢窗子开着,江风将浓郁的鲜香味送到大家鼻腔里,引得人胃里的馋虫都蠢蠢欲动,一个个开始埋头呼呼干面。
别看王潇嘴上强调,吃面条要配菜。事实上真正意外鱼汤面在手,她就专心吃面条。
哎呦,这个汤确实熬到位了。没有油也没有加葱蒜,居然不腥,就一个字——鲜。汆熟的黄鱼,夹在筷子上都不散,入口就是嫩。鱼刺被全部拔干净了,吃在嘴里就是爽。
郑老先生认认真真地吃面,完了还不忘把汤都给喝完。
最后他才放下碗,慢条斯理地擦嘴巴:“你要问什么,拿出来看看吧。”
助理赶紧帮忙拿出了资料,王潇亲自送到他手上:“我记得之前您说,我们的光刻机研发方向有问题。我想请您看看,这个方向可以吗?”
郑老先生的英语口语水平一般般,但在其他方面,尤其是专业英语方面,他能吊打在场所有人,包括王潇从微电子所请的专家。
他一边翻看资料,一边询问:“你们不打算缩短波长?”
所谓的光刻,就是将芯片制造的关键步骤,通过电路图案转移到硅片上。
波长的意义在于,波长越短,分辨率越高,能制造更小的晶体管。
这些年,光刻技术进展也很快,一路从g-line(436nm)、i-line(365nm),走到了KrF(248nm),分辨率也一路上升。
只是目前卡在了130nm制程上,它需要更高的分辨率。传统汞灯(i-line,365nm)和KrF准分子激光(248nm)的分辨率怎么也达不到这个标准。
国际上比较知名的光刻机厂商,像日本的尼康、佳能还有荷兰的ASML等,都将目光投向了更短的193nm波长(ArF准分子激光)。
王潇摇头:“不,我们要做193nm的波长,不过不做干式的,直接做浸润式的。”
她解释了一句,“我们再追下去没意思,跟着人家屁股后面,越追越远,不如弯道超车。”
郑老先生意味深长道:“那这一枪打出去,可未必有鸟。”
跟着人家屁股后面搞研发,看上去好像有点上不了台面,但实际上这是效率最高,成功概率也最高的研究方式。
因为先行者替你把所有的雷都趟了一遍了,不用你把精力浪费在已经失败的道路上。
王潇也明白第一个吃螃蟹的人,往往不是行业巨佬。研发经费过高,对企业经营来说,风险也随之增高。
赌错了,就是万劫不复。
她点点头:“先打一枪试试看。”
郑老先生没有再劝她三思而后行,而是放下了手上的资料,分析她要面临的问题:“那你这就是两步走。”
他在桌上放了两片蚕豆壳,然后指着左边的蚕豆格示意:“首先是单纯的193nm的机器,要有稳定的193nm ArF准分子激光器,来解决了激光功率低、寿命短的问题。”
他又在左边放下了一片更小的蚕豆壳。
“你还得有高纯度的熔融石英透镜,要保证折射率在193nm波段的稳定性,来确保成像精度。光刻胶也得更新换代,灵敏度要提升,才能满足193nm曝光需求。”
他伸手点了点左边的三片蚕豆壳,“等到这一代的机器做出来以后——”
他将手转移到了右边,“后续才是193nm的浸润机。”
黄副市长听的真着急,因为哪怕他是门外汉,他也知道193nm的干式机,对国内目前的水平来讲,属于妥妥的可望不可即的高度。
所以他脱口而出:“不能在248nm的基础上直接做吗?”
郑老先生微微笑,未置可否,只问王潇:“那你们想好了用什么液体来做这个介质吗?”
“去离子水。”王潇已经想要捂脸了。
果不其然,郑老先生再度开启了慢条斯理模式:“理论角度上来讲,用去离子水做这个介质,折射后的波长应该会比193nm短。”
不等黄副市长精神振奋,他又剥开了一颗蚕豆,继续往桌上摆蚕豆壳,“这样,我们首先要解决第一个问题。”
“248nm光源需使用氟化钙(CaF)透镜,CaF与水接触时可能发生水解反应,导致透镜表面损伤,这样,我们需要额外设计防腐蚀涂层。”
众人先傻眼了,面面相觑。这好像简单问题复杂化了啊。
然而郑老先生还没结束他的连环击,再度放下一片蚕豆壳,“248nm光刻胶,聚对羟基苯乙烯,PHS,在浸润环境中,可能因水的渗透导致图案变形。这个问题,也要想办法解决。”
众人感觉眼前一黑接一黑,本来他们觉得复杂问题可以简单化的。
结果叫郑老这么一分析,反而简单问题复杂化了。
郑老先生慢慢嚼着蚕豆,然后咽下肚子,才意味深长道:“技术更新就是这样。技术也要找自己的时机,就好像到了温度花才会开,它还需要执行力。这二者缺一不可。否则,再伟大的技术,它也落不了地。”
餐桌上陷入了沉默,只江水拍击着船发出的声响,透过窗户,传进包厢。
一并而来的,只有江水的潮湿之气和浓郁的咸腥味。它们如同黄浦江伸出的舌头,像母兽一样,舔舐着每个人的焦灼。
岸上灯光点点,小孩子奔跑时大喊大叫的欢笑声,让包厢里的沉寂愈发郁郁。
最后还是郑老先生打破的沉默,他发出了一声叹息:“而且248nm的光刻机,我们也造不出来啊。”
“KrF准分子激光器,需高纯度氟化氪气体和精密放电技术,我们国内的工业体系根本就没有这个基础。”
“纳米级对准精度和稳定性,都需要超精密制造能力,我们同样也没有这个技术。”
他拿手绢擦自己的手,再一次叹息,“高数值孔径(NA)的投影物镜,德国蔡司要是能出口给我们的话,倒是不用我们再从头做起了。”
五月底的江风,像是把黄浦江深处的凉意都给卷出来了,热情过度地往人身上扑,扑的人心里拔凉拔凉。
郑老先生将手绢放回自己的口袋,声音在江风中微微发颤:“工业的累积就是这个样子,想走捷径,跳过任何一个环节,几乎都不可能。”
这一顿江上的晚饭,吃的痛快还是不痛快,实在太难评。
你要说不痛快吧,桌上的面和菜都光盘了,可见大家吃的都挺麻溜。
但你要说痛快吧,上船的时候大家还言笑晏晏,个个信心十足。
结果等到了下船,所有人都沉默寡言,空气里只有江水的拍击声,和船上的录音机发出的歌声:“浪奔,浪流,万里涛涛江水永不休……”
人的烦恼啊,就跟江水一样,好像永远不会有停下来的时候。
小孩子在江滩上放会发光的风筝——现在的玩具真是一天一新鲜,风筝缠上了树枝,他急得哭。
家里的大人一边骂,一边上树去给他捡风筝。
唉,他们也想被骂两句,只要能解决他们的问题就好。
沉默的人下了沉默的船,走上沉默的江滩,然后又进了沉默的轿车。
轿车发出的声响,也好象沉重不堪的叹息。
因为它的核心技术,国产仍然实现不了。
所以当大家回到酒店的时候,所有人都表情严肃。
不知道的人看了,估计会以为他们这一顿晚饭是去吃席了。
开发公司的胡总看到他们时,还下意识地问了句:“怎么了,这是?”
王潇从善如流:“没什么,我们去外面吃饭了。晚上风有点大,吹得人脸发木。”
胡总“哦哦”了两声,算是接受了这个说法,还应和了一句:“说不定要下雨了,马上要六月份了,六月天,孩儿面,说变就变。”
这种人上了楼,进了套间,外面的房间就是个会客室,刚好适合谈话。
王潇笑道:“胡总,你这是有什么十万火急的事儿吗?还麻烦您大晚上的跑一趟。早说啊,咱们晚上一块吃黄鱼面,确实鲜美。”
胡总摆摆手:“我也不瞒你,我这是刚应酬完了过来的。”
这话王潇相信,因为他一开口就是酒味,可见饭桌上喝了不少。
胡总的身体靠在沙发椅上,发出一声叹息,十分苦恼的模样,“王总啊,不是我说你哦,你这是不是有点独啊。你一个人想把事情都做完了,那你把国家摆在什么位置?国家就派不上用场了?”
哎呦,这可是立场问题。
王潇立刻矢口否认:“这怎么可能?没有国家的鼎力支持,任何人都搞不了半导体。美国是这样,日本是这样,韩国也是这样。”
胡总似笑非笑:“那你为什么非得把三厂一所推出去?有问题,大家磨合就好嘛。”
王潇摇头:“我是说,国家参与半导体行业,应该是给政策也支持给态度,而不是自己亲自下场做。现在都说政府和企业功能分离,那就应该体现在半导体行业上。”
胡总也跟着摇头:“这个还不够。我们现在半导体行业发展需求非常迫切,单纯的政策支持,恐怕难以短时间内解决问题。”
套间里的空调开了,但时间太短,还没来得及发挥作用。
王潇又开了电风扇,呼呼的风声中,她笑了起来:“确实不够啊,所以还需要国家加催化剂,让反应快速进行起来。”
她手一伸,机灵的助理已经拿来的纸和笔。
王潇就在纸上开启了蓝图模式,“胡总您也知道,发展半导体行业,我们需要强大的工程师队伍,这是我们现在国内不具备的。因为只有蓬勃的行业发展,才能培养出足够的行业工程师。”
“这部分问题我们要怎么解决?”她的笔在“工程师”三个字上画了个圈,“拿来主义,自己没有,就从外面拿。”
她伸手指着伊万诺夫,用俄语笑道,“苏联的工业就是这样发展起来的。当初大量的苏联工程师,是在美国接受的培养。”
老一代的科学家几乎没有不懂俄语的,黄副市长的俄语也勉强够用。
只有胡总需要王潇重新用汉语说了一遍,这才摇头:“此一时彼一时,那个时候美国的意识形态还薄弱,又碰上的经济大萧条,资本家逐利,才会愿意挣苏联的黄金,给他们的工业打基础,为他们培养工程师。现在嘛——”
他头摇成了拨浪鼓,“哪个会替我们培养工程师?”
天方夜谭哦,他们结成了联盟,连生产设备都不肯卖给华夏。
王潇笑意盈盈:“那张忠谋不是华夏人吗?他可是德州仪器副总裁、资深副总裁的,是进入最高管理层的。在美国,像他这样的华人,并不在少数。”
在她穿越之前,网上有一个冷笑话,说半导体行业就是华夏民族的内部斗争。
因为越发展到后面,你能提上名字的大佬,基本都是华夏民族出身。
不管是浸润光刻机之父林本坚,还是芯片大王张忠谋亦或者是带领华夏刻蚀机实现突破的尹志饶,以及为华夏芯片事业注入了强心剂张汝京,都是华人,而且他们都是在美国接受的高等教育和职业训练,实现自己事业第一个高峰的,取得了成就以后,然后改换门庭再创辉煌。
到她穿越的时候,这个名单上的名字越来越多。
就好像国际奥林匹克数学竞赛,不管身上挂着哪个国籍,站在领奖台上的,一看脸就知道是华夏人。
“招揽人才。”王潇认真道,“三顾茅庐招揽人才,这只能是国家层面做的事儿。像我这样的,我给人家再多的钱,人家看都不会看我一眼。”
“当初张忠谋肯赴台效力,是孙运璇一而再再而三,持续不断招揽的结果。可以说,没有他的坚持,张忠谋不会考虑去台,它根本就不在他的选择名单里。当时他对台的评价就是又小又穷又破。”
黄副市长来了兴趣,下意识地催促:“还有呢?”
既然张忠谋肯去又小又穷又破的地方,那就代表其他人也愿意在一穷二白的基础上奋斗啊。
胡总奇怪了看了他一眼,总觉得这个自己眼中的微电子专家有点奇奇怪怪。
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